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發布時間:2017-1-12   點擊次數:1 
羅克韋爾自動化半導體行業FMCS解決方案
FMCS (Facilities Management Control System),具有各層次的監視與控制功能,是工業級的控制系統,監視并控制著服務于FAB生產的各子系統。子系統包含但不局限以下系統:潔凈室、空調、機電設施、超純水、污水處理、化學品供應、氣體供應、真空系統、壓力系統、電力與生命安全系統等。作為專業的自動化供應商羅克韋爾可為用戶帶來產品與工程上的最優化解決方案。
潔凈室系統
潔凈室系統維持無塵室的潔凈度、溫度、濕度、壓力、新風量等參數,為生產提供安全可靠的環境。監控對象有空調新風機組、排風機組、洗滌塔、干盤管、FFU、FAB內的壓力、溫度、濕度等。
機電設施系統
機電設施系統包含冷凍水系統、冷卻水系統、熱水系統等三大中央動力系統。
在FMCS系統中對熱水系統監控主要涉及對鍋爐的通信、水溫、水泵、熱水的壓力。
純水系統
半導體行業由于產品的特性,生產過程中必須使用電子級的純水。典型制備工藝可分為以下幾個部分:預處理、RO反滲透、電去離子或混床、拋光混床、供水、回收水。自控方案的主要控制對象有水箱的液位、水泵、流量、壓力、溫度、反洗裝置、加藥裝置、水質測量裝置。
廢水處理
半導體廠需處理的廢水包含制程工藝廢水(如CMP、酸堿液、HF、有機物等)、洗滌塔廢水、純水系統生成廢水、一般排水。
化學品供應系統
廠務化學系統一般可分為三大類, 即酸堿類、有機溶劑類、研磨液。供應路徑如下圖:

由于供應化學品種類繁多,為保證24小時連續穩定供應與安全,每個供應柜CDM采用單獨PLC控制。從容器中送出的化學品通過VMB實現多用戶接入, 對VMB的控制通過I/O盤。然后,整體通過監控系統對運行狀態進行監控,實現集中管理,確保運行的安全與供應品質。
氣體供應系統
在半導體晶圓制造過程中,以及其它電子行業生產過程中,使用了眾多種類的氣體。一般把氣體分為大宗氣體(BulkGas) 和特殊氣體 (Special Gas) 兩種。大宗氣體一般是指集中供應且用量較大的氣體,涵蓋制程用氣如氮氣、氧氣、氫氣、氬氣、CDA等。 特殊氣體主要是在擴散制程、薄膜制程、離子注入制程、刻蝕制程等工藝處使用的氣體,以及其他為各種制程設備所使用的惰性氣體等。特氣供應系統的基本流程為:

真空與CDA系統
一、真空系統
真空系統包括工藝真空(Process Vacuum )、清掃真空(House Vacuum);工藝真空PV:供工藝設備與作業員用來搬送晶圓片的真空;其通常的構成真空罐、真空泵、油水分離器、冷卻系統、輸送管路。清掃真空HV:為FAB的清掃提供真空源,真空使用點位于FAB不同位置。其通常構成真空泵、除塵器、自動補風裝置、使用節點等.
二、CDA系統:
通過壓縮機壓縮外部空氣,并經過過濾器、干燥機等一系列處理用來供FAB使用。FMCS系統主要監控空壓機運行、干燥機運行、系統冷卻、壓力監控(緩沖罐與管路、過濾器)、空氣露點等。
生命安全系統
生命安全系統包括數個專業的子系統,如火災與氣體監測,緊急通信,安防及聲光報警撤離系統。火災系統包括火災保護、火災探測、火災事故照明和疏散指示等。特氣偵測系統(Gas Detector System)簡稱GDS,采用特氣偵測設備測量有毒氣體的含量,有些偵測設備已經集成了通信接口,通過這些接口可直接發送狀態與報警到FMCS系統,而另外一些則需要專用的接口模塊或硬接線獲得相關信息。
電力監控系統
電力監控系統監視工廠的用電狀態與用電質量。通過對電力的監控,可幫助用戶實現用電需求管理、限電管理、電壓無功功率管理、及成本分配等,從而提高供電質量,使設備的運行更有效、安全。
用戶服務與技術支持
很多企業發現,如果在設備替換階段采用響應型維護策略,企業將遭遇更頻繁、無計劃的停機事故,并且由于缺乏技術資源,使得延長設備壽命的工作變得非常困難,企業將為此支付高額的維護費用。綜上所述,維護策略應該在項目和設備設計階段就由維護部門開始考慮制定,有效地將預測型、預防型和響應型維護方法相結合,使其貫穿于設備的整個生命周期,將其作為企業增加利潤的一種途徑,通過運用這些維護措施創造最佳的生產環境,延長正常運行時間,實現更多的利潤。
羅克韋爾自動化戰略性維護策略,能全面滿足您優化自動化設備性能的需求,以實現:

羅克韋爾自動化的客戶支持與維護服務

在系統生命周期的不同階段采用恰當的預測型、預防型和響應型維護方法的組合,能幫助您更好的實現生產經營。
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